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硅烷是硅與氫的不同分子結構的化合物，有甲硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷、環戊硅烷硅烷等多種類型，硅烷生產裝置在原料和產品裝卸及生產過程中都會正常有組織排放原料、中間體和產品尾氣，并且在操作事故時會緊急排放大量原料、中間體和產品氣液混合物，這些氣液混合物包含甲硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷、環戊硅烷等硅烷類型的兩三種或更多種類。

氯硅烷是硅、氯、氫的化合物，有一氯三氫硅、二氯二氫硅、三氯氫硅以及四氯化硅，在生產中也會有組織排放原料、中間體和產品尾氣，并且在操作事故時會緊急排放大量原料、中間體和產品氣液混合物。

硅烷和氯硅烷排放的尾氣都是易燃易爆和有毒有害物質，如果處理不當造成泄漏，會帶來燃爆和危及生命健康的嚴重事故，所以生產企業以及環保、安全監察職能部門都非常重視這類生產裝置的尾氣處理。硅烷和氯硅烷尾氣根據不同工況條件，可以選擇濕法水解或干法焚燒工藝。濕法水解工藝是將硅烷、氯硅烷尾氣通過堿催化水解，再經過多級洗滌吸收未能水解的尾氣，使尾氣中的氯化氫等有害氣體達到環保排放標準要求。中和堿采用燒堿或石灰，也可以聯合采用石灰和燒堿，產出物為活性二氧化硅、氯化鈣、硅酸鈉、硅酸鈣、氯化鈉的單獨固體或混合固體，可以作為產品銷售。裝置工藝水循環使用，不排放廢水。如果裝置尾氣排放速率相對穩定，排放速率大小相差不大，尤其是較難水解的硅烷品種，可以選用干法焚燒工藝模式，使用天然氣作為引燃和加熱燃料，配入合適流量的助燃空氣，使送入焚燒爐的尾氣燃燒和分解，燃燒分解尾氣與固體活性二氧化硅分離后，經過燒堿水溶液多級洗滌吸收，達標后高空排放。產出物為二氧化硅和液體硅酸鈉，可以作為產品銷售，裝置工藝水循環使用，不排放廢水。硅烷和氯硅烷尾氣處理的副產品，因雜質較少，以適當的價格易于銷售，可以顯著降低尾氣處理成本。